技術(shù)參數(shù)

• 1.全溫場(chǎng)溫度控制系統(tǒng)
• 使用溫度范圍 室溫~800℃
• 爐腔溫度范圍 ≤900℃
• 溫控精度 ≤±0.3℃
• 溫度場(chǎng)梯度誤差 ≤±5℃
• 升溫速率范圍 1℃~40℃/min
• 爐腔溫場(chǎng)尺寸 100*80*80mm
• 試樣尺寸 ≤φ30*30mm
• 加熱元件 HRE高溫合金
• 控溫?zé)犭娕?/span> S型熱電偶
• 2.大量程動(dòng)態(tài)加載與補(bǔ)償系統(tǒng)
• 加載力值范圍 0.1~30kg
• 力值檔位 固定檔位/自定義力值
• 固定檔位力值 標(biāo)配61檔
• 自定義力值 輸入力值
• 加載方式 定力值/定位移/定速度
• 定力值加載精度 ≤1kg時(shí)±2%；＞1kg時(shí)±0.5%
• 定力值加載分辨率 0.01%FS
• 定位移加載分辨率 500nm(選配20nm~500nm)
• 加載過(guò)程 實(shí)時(shí)力值、位移、時(shí)間數(shù)據(jù)
• 保荷時(shí)間 ≤72小時(shí)
• 傳感器 耐高溫力值傳感器、激光位移傳感器
• 3.壓針預(yù)熱模組
• 預(yù)熱時(shí)長(zhǎng) ≤50小時(shí)
• 預(yù)熱時(shí)間 自定義，單位min或s
• 最高預(yù)熱溫度 ≤900℃
• 4.高溫光學(xué)成像與測(cè)試系統(tǒng)
• 物鏡放大倍數(shù) 10X物鏡(選配20X物鏡)
• 系統(tǒng)顯示放大倍數(shù) 1000X(選配2000X)
• 物鏡分辨率 1.44um，選配1.19um
• 物鏡工作溫度 ≤800℃
• 單次持續(xù)工作時(shí)間 ≤50小時(shí)
• 5.樣品快速更換系統(tǒng)
• 更換方式 手動(dòng)，選配自動(dòng)
• 更換時(shí)長(zhǎng) ≤50秒
• 系統(tǒng)極限溫度 ≤900℃
• 系統(tǒng)測(cè)試環(huán)境 ≤800℃
• 6.高溫聯(lián)動(dòng)控制與補(bǔ)償系統(tǒng)
• 聯(lián)動(dòng)軸數(shù) 5軸(選配6~8軸)
• 運(yùn)動(dòng)控制精度 ≤±1um
• 運(yùn)動(dòng)控制速度 ≤5000um/s
• 運(yùn)動(dòng)控制分辨率 ≤0.1um
• 運(yùn)動(dòng)控制方式 自動(dòng)
• X軸行程（橫軸） 250mm
• Y-A軸行程（10X物鏡） 90mm
• Y-B軸行程（20X物鏡） 90mm
• Y-C軸行程（壓針） 100mm
• Y-D軸行程 220mm
• Z軸行程（樣品升降軸） 100mm
• R-X軸行程 360
• 7.循環(huán)水冷模塊(選配)
• 最大流量 13L/min
• 8.循環(huán)氣冷模塊
• 介質(zhì) 惰性氣體
• 冷卻時(shí)間 ≤5秒
• 氣壓 0.8Mpa
• 冷卻溫度 ≤55℃
• 持續(xù)工作時(shí)間 ≤72小時(shí)
• 9.風(fēng)冷模組
• 冷卻組數(shù) 4
• 冷卻角 90°
• 10.高溫壓針模組
• 材質(zhì) 立方氮化硼CBN、接桿為鎳鉻合金
• 鎳鉻合金總長(zhǎng) 110mm
• 是否可修復(fù) 否
• 選配可修復(fù)全尺寸1700型壓針 110mm*φ8(可選配110mm*φ6.35)
• 11.手套箱
• 水氧指標(biāo) ≤1ppm
• 工位數(shù) 1.0
• 尺寸 2200*1420*2270mm
• 腔室尺寸 1350*950*1400mm
• 箱體材質(zhì)、厚度 304不銹鋼、5mm
• 箱體底板材質(zhì)、厚度 304不銹鋼、12mm
• 12.工作腔室溫控模塊
• 額定制冷量 1050W
• 制冷劑 R134a
• 溫度范圍 15~36℃
• 噪音 ≤63dB（A）
• 11.儀器安置參數(shù)
• 儀器外形尺寸 2400*1500*2350mm(安置空間大于長(zhǎng)3800*寬2000*高2800mm)
• 儀器重量 1800kg(環(huán)境無(wú)振動(dòng))
• 氣源 99.999%高純氬氣等
• 電源 220V(功率＞6.5KW)