技術(shù)參數(shù)

• 1.全溫場溫度控制系統(tǒng)
• 使用溫度范圍 室溫~600℃
• 爐腔溫度范圍 ≤600℃
• 溫控精度 ±1℃
• 溫度場梯度誤差 ≤±5℃
• 升溫速率范圍 1℃~40℃/min
• 爐腔溫場尺寸 100*80*80mm
• 試樣尺寸 ≤φ30*30mm
• 加熱元件 HRE高溫合金
• 控溫?zé)犭娕?/span> S型熱電偶
• 2.大量程動態(tài)加載與補(bǔ)償系統(tǒng)
• 加載力值范圍 0.1~30kg
• 力值檔位 固定檔位/自定義力值
• 固定檔位力值 標(biāo)配61檔
• 自定義力值 輸入力值
• 加載方式 定力值/定速度
• 定力值加載精度 ≤1kg時±2%；＞1kg時±0.5%
• 定力值加載分辨率 0.01%FS
• 加載過程 實(shí)時力值、時間數(shù)據(jù)
• 保荷時間 ≤72小時
• 傳感器 耐高溫力值傳感器
• 3.壓針預(yù)熱模組
• 預(yù)熱時長 ≤50小時
• 預(yù)熱時間 自定義，單位min或s
• 最高預(yù)熱溫度 ≤600℃
• 4.高溫光學(xué)成像與測試系統(tǒng)
• 物鏡放大倍數(shù) 10X物鏡(選配20X物鏡)
• 系統(tǒng)顯示放大倍數(shù) 1000X(選配2000X)
• 物鏡分辨率 1.44um，選配1.19um
• 物鏡工作溫度 ≤600℃
• 單次持續(xù)工作時間 ≤50小時
• 5.樣品快速更換系統(tǒng)
• 更換方式 手動，選配自動
• 更換時長 ≤50秒
• 系統(tǒng)極限溫度 ≤700℃
• 系統(tǒng)測試環(huán)境 ≤600℃
• 6.高溫聯(lián)動控制與補(bǔ)償系統(tǒng)
• 聯(lián)動軸數(shù) 5軸(選配6~8軸)
• 運(yùn)動控制精度 ≤±1um
• 運(yùn)動控制速度 ≤5000um/s
• 運(yùn)動控制分辨率 ≤0.1um
• 運(yùn)動控制方式 自動
• X軸行程（橫軸） 250mm
• Y-A軸行程（10X物鏡） 90mm
• Y-B軸行程（20X物鏡） 90mm
• Y-C軸行程（壓針） 90mm
• Z軸行程 12mm
• Z-Y軸行程（樣品升降軸） 0~60mm手動/自動
• 7.循環(huán)氣冷模塊(選配)
• 介質(zhì) 惰性氣體
• 冷卻時間 ≤5秒
• 氣壓 0.8Mpa
• 冷卻溫度 ≤55℃
• 持續(xù)工作時間 ≤72小時
• 8.風(fēng)冷模組
• 冷卻組數(shù) 4
• 冷卻角 90°
• 9.高溫壓針模組
• 材質(zhì) 立方氮化硼CBN、接桿為鎳鉻合金
• 鎳鉻合金總長 110mm
• 是否可修復(fù) 否
• 選配可修復(fù)全尺寸1700型壓針 110mm*φ8(可選配110mm*φ6.35)
• 10.手套箱
• 水氧指標(biāo) ≤1ppm
• 工位數(shù) 1.0
• 尺寸 1350*850*2100mm
• 腔室尺寸 1220*950*1400mm
• 箱體材質(zhì) 304不銹鋼
• 箱體底板材質(zhì) 304不銹鋼
• 11.儀器安置參數(shù)
• 儀器外形尺寸 1500*950*2350mm(安置空間大于長2500*寬2000*高2600mm)
• 儀器重量 1500kg
• 氣源 99.999%高純氬氣等
• 電源 220V(功率＞6.5KW)